第十一章:国产第一台极紫外光刻机
此时大家都是通过外面的屏幕来观看里面的实验。
因为人太多,就会带入很多细菌和灰尘。
此时苏晨在实验室中担任指挥,其他科研人员都在紧急调配。
里面是一个非常小巧的机器。
大家看了以后都很疑惑。
因为极紫外光刻机大家不是没有见过。
体型非常庞大!
毫不夸张的说,相当于一辆公共汽车大小!
通体白色,非常占地方。
而净室里的机器看去只有一张办公桌那么大,机型是黑色的。
看去就像是国外生产光刻机的斯麦尔集团生产的阉割版。
让人有些担心,这种机器真的可以做到7nm、5nm,乃至未来几年会出现的3nm的光刻任务吗?
此时里面的苏晨已经恢复了精神,面色平静,没有一丝感情。
似乎他已经没有体力让自己兴奋起来!
“老师,实验可以开始了。”
苏晨开口说道。
杨平按下麦克风的按钮:“第9次芯片生产实验,启动!”
随着一声令下。
科研人员操作者机械臂,吸附起了一块12英寸的晶圆。
放入正在传送的履带之后,晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。
旁边的操作人员紧张的汇报着数据。
因为过于紧张,连声音都有些颤抖。
“报告……启动程序无故障!”
“电压稳定设备运行正常!”
“监控设备运行正常!”
“……”
此时整个研究室鸦雀无声,落针可闻!
大家仿佛可以听到,机器中低落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。
要知道,这东西的声音人类几乎不可能捕捉到!
但是此时大家就是可以听到!
出了仪器发出的细微声响之外。
整个净室,哪怕大家相距胜远,都能听到彼此的呼吸声!
苏晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕,看着显示屏幕的光刻进度条。
进度条一点点的衍生,他的手心开始湿润了起来。
这场实验已经接近十次了!
这次是最接近成功的一次!
极紫外光刻机太重要了。
有了它,只要有了芯片图谱,就可以制造出来相应的芯片!
而就在不久之前,杨平实验了5nm芯片图谱,还在实验阶段!
而今天,他们就是要利用光刻机生产5nm芯片!
如果真的可以做到这些,那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步!
终于,在万众瞩目中,进度条拉满!
一块晶圆被吐了出来,机械臂再度吸起来,然后放入蚀刻机。
这个步骤不复杂,只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。
露出光刻后的凹槽。
然后注入离子,让单晶硅拥有晶体管开关的特性。
在用铜进行晶体管间的连接工作。
在芯片彻底产出之前,大家都不敢说话。
时间一分一秒过去,终于到了切割的步骤。
终于,晶圆被切割成了700片小的芯片。
苏晨这个时候立刻去开始查看数据。
随后他憔悴的脸露出了淡淡的微笑。
他看向自己的老师,对方已经明白了结果。
“我宣布,国产第一台极紫外光刻机,研制成功!”
声音徐徐落下,所有科研人员都猛地起身,发出了雷鸣一般的掌声!
甚至有的人激烈的拥抱在了一起!
“成功了!!!!5nm芯片啊!!!!”
“我们可以挺起腰杆来做人了!”
“极紫外光刻机!5nm芯片!!!外国佬,就你们有5nm?”
……
是的,接下来只要能研究出来图谱,那么这台光刻机就能制造出来!
几位院士也老泪纵横。
他们没想到居然真的成功了!
其实他们来之前,还是觉得这次会失败的!
但是现实告诉了他们结果!
“小苏,干的漂亮啊!”
“杨平,你后继有人了!这次你和小苏都立了大功啊!”
“我国有杨平和苏晨,半导体行业才能如此突飞猛进啊!”
几个院士说的毫不夸张!
杨平研究了芯片图谱出来,而苏晨拿出了光刻机图谱出来。
这一前一后,可以说是相辅相成!
在大家庆祝的时候,只有杨平一个人默默的进入了净室。
他扶着身心俱疲的苏晨一起从净室出来。
“老师,详细的数据报告还需要一会儿时间,我可以再等等。”
苏晨很想等到详细数据报告。
因为刚刚那个数据只是代表着光刻机的生产成功了。
但是看不出良品率的高低。
一台光刻机一定要看良品率。
说白了,一片12英寸的晶圆,可以切割700片手机芯片。
但是能用的只有500左右。
这就是因为良率不行,
那些芯片达不到要求!
说白了这就是斯麦尔的极紫外光刻机的良品率。
而想要测出来良率,就要等这些芯片挨个绑定激活才行。
这最起码还需要几个钟头!
杨平满脸心疼。
“小苏,你已经30个小时没有合眼了,还是先休息一下吧!”
苏晨却固执的摇了摇头。
杨平叹了口气。
他知道自己这个学生的性格。
决定的事情就不会反悔!
而且还得顺毛捋,不然就炸毛。
“也好,你看完详细报告之后,我派人送你回家。”
“让你女朋友来照顾你。”
此时苏晨已经听不清老师在说什么了。
只是点头。
很快,一个工程师兴奋的跑了过来。
“杨院士!详细数据报告出来了!”
“快说!”
“这张12英寸的晶圆去除边角料之后,一共生产了713片芯片!”
“能使用的芯片有555片!”
“我们的良率刷新了世界纪录,达到了%!”
杨平满脸惊讶!
要知道,斯麦尔公司的极紫外光刻机良率只有71%啊!
“小苏,你听到了吗!?”
“小苏!”
杨平骇然发现,苏晨似乎失神了。
很显然是太过疲劳导致的。
“老师,我没事,就是有点累。”
苏晨轻轻摇了摇头,语气十分虚弱。
“快,送苏工回家!”
杨平立刻喊道。
“是!”
苏晨很满意。
他听到了%的数据,立刻就感觉一股热流直逼天灵盖。
这股热流带给了他无限的轻松,以至于他有些停止了思考。
此时周淑伊还在直播间里开着直播。
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因为人太多,就会带入很多细菌和灰尘。
此时苏晨在实验室中担任指挥,其他科研人员都在紧急调配。
里面是一个非常小巧的机器。
大家看了以后都很疑惑。
因为极紫外光刻机大家不是没有见过。
体型非常庞大!
毫不夸张的说,相当于一辆公共汽车大小!
通体白色,非常占地方。
而净室里的机器看去只有一张办公桌那么大,机型是黑色的。
看去就像是国外生产光刻机的斯麦尔集团生产的阉割版。
让人有些担心,这种机器真的可以做到7nm、5nm,乃至未来几年会出现的3nm的光刻任务吗?
此时里面的苏晨已经恢复了精神,面色平静,没有一丝感情。
似乎他已经没有体力让自己兴奋起来!
“老师,实验可以开始了。”
苏晨开口说道。
杨平按下麦克风的按钮:“第9次芯片生产实验,启动!”
随着一声令下。
科研人员操作者机械臂,吸附起了一块12英寸的晶圆。
放入正在传送的履带之后,晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。
旁边的操作人员紧张的汇报着数据。
因为过于紧张,连声音都有些颤抖。
“报告……启动程序无故障!”
“电压稳定设备运行正常!”
“监控设备运行正常!”
“……”
此时整个研究室鸦雀无声,落针可闻!
大家仿佛可以听到,机器中低落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。
要知道,这东西的声音人类几乎不可能捕捉到!
但是此时大家就是可以听到!
出了仪器发出的细微声响之外。
整个净室,哪怕大家相距胜远,都能听到彼此的呼吸声!
苏晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕,看着显示屏幕的光刻进度条。
进度条一点点的衍生,他的手心开始湿润了起来。
这场实验已经接近十次了!
这次是最接近成功的一次!
极紫外光刻机太重要了。
有了它,只要有了芯片图谱,就可以制造出来相应的芯片!
而就在不久之前,杨平实验了5nm芯片图谱,还在实验阶段!
而今天,他们就是要利用光刻机生产5nm芯片!
如果真的可以做到这些,那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步!
终于,在万众瞩目中,进度条拉满!
一块晶圆被吐了出来,机械臂再度吸起来,然后放入蚀刻机。
这个步骤不复杂,只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。
露出光刻后的凹槽。
然后注入离子,让单晶硅拥有晶体管开关的特性。
在用铜进行晶体管间的连接工作。
在芯片彻底产出之前,大家都不敢说话。
时间一分一秒过去,终于到了切割的步骤。
终于,晶圆被切割成了700片小的芯片。
苏晨这个时候立刻去开始查看数据。
随后他憔悴的脸露出了淡淡的微笑。
他看向自己的老师,对方已经明白了结果。
“我宣布,国产第一台极紫外光刻机,研制成功!”
声音徐徐落下,所有科研人员都猛地起身,发出了雷鸣一般的掌声!
甚至有的人激烈的拥抱在了一起!
“成功了!!!!5nm芯片啊!!!!”
“我们可以挺起腰杆来做人了!”
“极紫外光刻机!5nm芯片!!!外国佬,就你们有5nm?”
……
是的,接下来只要能研究出来图谱,那么这台光刻机就能制造出来!
几位院士也老泪纵横。
他们没想到居然真的成功了!
其实他们来之前,还是觉得这次会失败的!
但是现实告诉了他们结果!
“小苏,干的漂亮啊!”
“杨平,你后继有人了!这次你和小苏都立了大功啊!”
“我国有杨平和苏晨,半导体行业才能如此突飞猛进啊!”
几个院士说的毫不夸张!
杨平研究了芯片图谱出来,而苏晨拿出了光刻机图谱出来。
这一前一后,可以说是相辅相成!
在大家庆祝的时候,只有杨平一个人默默的进入了净室。
他扶着身心俱疲的苏晨一起从净室出来。
“老师,详细的数据报告还需要一会儿时间,我可以再等等。”
苏晨很想等到详细数据报告。
因为刚刚那个数据只是代表着光刻机的生产成功了。
但是看不出良品率的高低。
一台光刻机一定要看良品率。
说白了,一片12英寸的晶圆,可以切割700片手机芯片。
但是能用的只有500左右。
这就是因为良率不行,
那些芯片达不到要求!
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而想要测出来良率,就要等这些芯片挨个绑定激活才行。
这最起码还需要几个钟头!
杨平满脸心疼。
“小苏,你已经30个小时没有合眼了,还是先休息一下吧!”
苏晨却固执的摇了摇头。
杨平叹了口气。
他知道自己这个学生的性格。
决定的事情就不会反悔!
而且还得顺毛捋,不然就炸毛。
“也好,你看完详细报告之后,我派人送你回家。”
“让你女朋友来照顾你。”
此时苏晨已经听不清老师在说什么了。
只是点头。
很快,一个工程师兴奋的跑了过来。
“杨院士!详细数据报告出来了!”
“快说!”
“这张12英寸的晶圆去除边角料之后,一共生产了713片芯片!”
“能使用的芯片有555片!”
“我们的良率刷新了世界纪录,达到了%!”
杨平满脸惊讶!
要知道,斯麦尔公司的极紫外光刻机良率只有71%啊!
“小苏,你听到了吗!?”
“小苏!”
杨平骇然发现,苏晨似乎失神了。
很显然是太过疲劳导致的。
“老师,我没事,就是有点累。”
苏晨轻轻摇了摇头,语气十分虚弱。
“快,送苏工回家!”
杨平立刻喊道。
“是!”
苏晨很满意。
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