第三十九章:国内第一条自主研发的
自从滚磨机制作完成之后,晶圆厂的精度就从提拉单晶硅柱,变成了分段滚磨。
很快就有数十个单晶硅段已经滚磨完成,等待着多线切割机,将单晶硅段切片。
接下来的几天,苏晨每天都在实验室进行着机器的组装。
多线切割机、倒角机、精磨机、刻蚀机……
苏晨每天都会加班,一台台机器按照图纸成功完成。
滚磨好的单晶硅段被切片,然后通过机械打磨,让表面平整,并且将厚度减到775微米。
随后利用倒角机,将边缘做成直角。
紧接着用精磨机再次去除10微米左右的厚度。
最后放入刻蚀机中,进行杂质的溶解。
这就是目前晶圆片所能到的步骤。
不过想要正式放入光刻机之中,还需要两步。
首先是化学机械抛光,然后是涂抹光刻胶。
今天的任务就是给晶圆片抛光!
此时抛光机已经正式完工!
正在进行通电的实验!
“报告,电压正常,各个零部件之间没有坏损。”
“启动成功!”
连接电源,机器一次性点亮!
所有人都欢呼了一声。
“总算搞定了,这样的话,明天到了净室,就可以进行加工试验了!”
“是啊,要是明天的实验可以成功,我们的项目就是大功告成!”
“一定没问题的!”
“嘘,你们看,苏工又出去了!”
“十点了,肯定又是给女朋友汇报工作去了!以后一定是个妻管严!”
“鬼扯,这叫做贴心顾家有责任心!!每天给女朋友报平安,有这样的男友真让人安心!”
“是啊,苏工这几天打电话时间越来越长了!”
“……”
苏晨完全没有听到同事的议论。
这几天下来,研发出来的机器都是一次性点亮成功!
他发现,似乎真的被周淑伊给说中了!
难不成她真的言出法随?
“你看,我都说了言出法随了!明天你肯定也能一次成功!”
“我晚给你做好饭,然后去楼下接你!”
电话那边的周淑伊脸有些小兴奋。
苏晨淡淡一笑:“那我要是回不去,你不是白做了?”
刚说完,旁边的树奈奈就跳了出来。
“姐夫快回来吧,老板每天都烧一样的菜,我们都要吃吐了!”
“对啊姐夫,周姐还不让我们点外卖,再吃下去,我人都要变成那盘菜的形状了!”
周淑伊一脸嫌弃的把两边的人推开。
“你们跳完舞了吗就出来!回去直播去,不然扣你们工资!”
“哇,黑心老板!”
“周扒皮呀!”
听到蛋宝的哀嚎,周淑伊一脸黑线。
她还正好姓周!
真·周扒皮!
这两个白眼狼!
住着汤臣一品,还吃着那么好吃的食物,居然还说自己是周扒皮!
真是该好好惩罚一下才行!
苏晨嘴角微微有了一丝弧度。
“好了,我回去工作了,你也赶紧回去直播吧。”
“嗯,明天等你!”
说完之后,苏晨放下了电话。
不知道为什么,他竟然有些期待明天的晚餐。
最近实验室这边的饭已经有些吃腻了。
……
翌日。
器材被放入了净室之内。
因为最后一步抛光之后,硅片需要做最好的避尘措施,否则沾染了灰尘的话,很可能就会在涂抹光刻胶的环节将灰尘封锁在内。
到时候光刻时,数百微米的尘埃会阻碍纳米级的光刻技术。
苏晨和杨平换了防尘服,在经过360度无死角的热烘之后,算是彻底清除了身的尘埃,正式进入实验室。
很快,实验室开始了最后的实验——将硅片进行化学机械抛光。
几个科研人员调试好设备之后,从密封箱中拿出了一片硅片。
此时硅片的颜色还是略带暗沉。
将硅片固定到可以旋转的抛光仪器,一切就准备完成了。
“实验开始。”
中控室下达命令。
几个科研人员开始操作机器的旋钮。
很快硅片就在卡槽内开始旋转起来。
其实这一步也属于打磨,只不过要在打磨之后完成抛光。
很快在三个刷头的研磨下,暗沉的硅片开始散发出了光泽!
几分钟后,硅片表面完全变成了一个非常完美的镜面!
抛光完成之后,涂胶机的触手吸住了硅片,将硅片放到了另一个卡槽里。
托盘开始旋转,光刻胶就从触手的吸盘处开始向外扩散。
一层黑色的光刻胶就均匀的涂抹在了硅片。
因为做过倒角的原因,光刻胶非常均匀,而且边缘部分也没有沉淀!
检验这张12英寸晶圆的最好方法就是放入光刻机,直接进行光刻!
所以几乎是马不停蹄,晶圆被吸入了光刻机里。
经过几分钟的等待,一片光刻好的晶圆就诞生了。
直到这一步,所有的工程师才欢呼起来!
“成功了!”
“一次性成功!”
“天啊,真不敢相信,我们居然有了光刻机和芯片的原材料!”
很快,一片片的晶圆开始进行抛光然后涂胶。
不多时,详细数据就已经有了。
“报告,12英寸晶圆生产线的损耗率仅有%”
“损耗率比国外低%!”
这个数据无疑是惊人的!
因为%的损耗率实在是太低了。
硅片因为过薄而崩裂是一种非常常见的事情!
而%的损耗代表什么!?
每一百片硅片会崩1~2片!
国外可不只是这么简单了!
几个院士此时也无比激动!
这个成品率简直惊世骇俗!
其实最大的原因还是因为多线切割机这个想法!
简直是一个极度聪明的点子!
现在。
12英寸晶圆实现国产,国内的芯片制造就彻底不需要担心被卡脖子了!
而且芯片成本也会大幅度下降!
直到现在,华夏的芯片之路才算是真正的和国外走在了同一个水平线!
“小苏,你真是半导体行业的天才!”
“%的损耗率!了不起啊!这次苏晨在12英寸晶圆技术,有无可替代的作用!”
“要不是小苏的这些图纸,我们恐怕五年之内都要对国外望其项背啊!”
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很快就有数十个单晶硅段已经滚磨完成,等待着多线切割机,将单晶硅段切片。
接下来的几天,苏晨每天都在实验室进行着机器的组装。
多线切割机、倒角机、精磨机、刻蚀机……
苏晨每天都会加班,一台台机器按照图纸成功完成。
滚磨好的单晶硅段被切片,然后通过机械打磨,让表面平整,并且将厚度减到775微米。
随后利用倒角机,将边缘做成直角。
紧接着用精磨机再次去除10微米左右的厚度。
最后放入刻蚀机中,进行杂质的溶解。
这就是目前晶圆片所能到的步骤。
不过想要正式放入光刻机之中,还需要两步。
首先是化学机械抛光,然后是涂抹光刻胶。
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此时抛光机已经正式完工!
正在进行通电的实验!
“报告,电压正常,各个零部件之间没有坏损。”
“启动成功!”
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所有人都欢呼了一声。
“总算搞定了,这样的话,明天到了净室,就可以进行加工试验了!”
“是啊,要是明天的实验可以成功,我们的项目就是大功告成!”
“一定没问题的!”
“嘘,你们看,苏工又出去了!”
“十点了,肯定又是给女朋友汇报工作去了!以后一定是个妻管严!”
“鬼扯,这叫做贴心顾家有责任心!!每天给女朋友报平安,有这样的男友真让人安心!”
“是啊,苏工这几天打电话时间越来越长了!”
“……”
苏晨完全没有听到同事的议论。
这几天下来,研发出来的机器都是一次性点亮成功!
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难不成她真的言出法随?
“你看,我都说了言出法随了!明天你肯定也能一次成功!”
“我晚给你做好饭,然后去楼下接你!”
电话那边的周淑伊脸有些小兴奋。
苏晨淡淡一笑:“那我要是回不去,你不是白做了?”
刚说完,旁边的树奈奈就跳了出来。
“姐夫快回来吧,老板每天都烧一样的菜,我们都要吃吐了!”
“对啊姐夫,周姐还不让我们点外卖,再吃下去,我人都要变成那盘菜的形状了!”
周淑伊一脸嫌弃的把两边的人推开。
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苏晨嘴角微微有了一丝弧度。
“好了,我回去工作了,你也赶紧回去直播吧。”
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说完之后,苏晨放下了电话。
不知道为什么,他竟然有些期待明天的晚餐。
最近实验室这边的饭已经有些吃腻了。
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因为最后一步抛光之后,硅片需要做最好的避尘措施,否则沾染了灰尘的话,很可能就会在涂抹光刻胶的环节将灰尘封锁在内。
到时候光刻时,数百微米的尘埃会阻碍纳米级的光刻技术。
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几个科研人员调试好设备之后,从密封箱中拿出了一片硅片。
此时硅片的颜色还是略带暗沉。
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很快硅片就在卡槽内开始旋转起来。
其实这一步也属于打磨,只不过要在打磨之后完成抛光。
很快在三个刷头的研磨下,暗沉的硅片开始散发出了光泽!
几分钟后,硅片表面完全变成了一个非常完美的镜面!
抛光完成之后,涂胶机的触手吸住了硅片,将硅片放到了另一个卡槽里。
托盘开始旋转,光刻胶就从触手的吸盘处开始向外扩散。
一层黑色的光刻胶就均匀的涂抹在了硅片。
因为做过倒角的原因,光刻胶非常均匀,而且边缘部分也没有沉淀!
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“成功了!”
“一次性成功!”
“天啊,真不敢相信,我们居然有了光刻机和芯片的原材料!”
很快,一片片的晶圆开始进行抛光然后涂胶。
不多时,详细数据就已经有了。
“报告,12英寸晶圆生产线的损耗率仅有%”
“损耗率比国外低%!”
这个数据无疑是惊人的!
因为%的损耗率实在是太低了。
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而%的损耗代表什么!?
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国外可不只是这么简单了!
几个院士此时也无比激动!
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